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        CP12 全自動12英寸探針臺

        項目

        CP12探針臺

        機臺尺寸

        1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

        適用晶圓

        200mm,300mm

        晶圓厚度

        250~2000μm

        Die Size

        350μm ~76,000μm

        晶圓搬運方式

        背面真空吸取,雙Arm

        針測精度

        XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

        XY平臺

        重復定位精度±1μm

        Z軸

        重復定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

        針測壓力

        50kg(可選200kg)

        校準方式

        圖像校準,高低倍模板匹配

        Index Time

        240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

        測試溫度

        常溫~150℃±1℃

        通訊接口

        GPIB,預留TTL和RS232

        可選功能

        ID讀取,自動換卡

         

        ※主要針對CIS和SOC產品推出的高性價比探針臺。

        版權所有:杭州長川科技股份有限公司 地址:杭州市濱江區聚才路410號

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